“一抽三冲,这是关键,你们好好看!”
张明瑞严肃的跟那俩人说道,随即展开一系列操作。
“所谓一抽三冲,指的就是,打开进气阀,把氧气的流量仪直接打到关闭。”
张明瑞一边说着,一边操作,没有一丝疏漏的完成了一抽三冲。
“最后一点,要切记关闭旁抽,这是很重要的。”
张明瑞说着,那两人在旁边疯狂点头。
“现在打开电磁闸,开始准备溅射。在对一个芯片溅射之前,我们要完成预溅射。”
张明瑞开始操作,每一步都处理的非常清晰,两个人都一丝不苟的观察着,学习着。
“降低加热器衬底至标刻度19以下,将样品转到右靶,找到合适的位置,开始计时。”
整个实验室安静的只剩张明瑞自信有力的说话声,张明瑞一边给两人讲解,一边操作,还要腾出一只手来握着秒表。
如果这个实验只有张明瑞自己一个人来实施的话,或许进度会提高一点,但和这两位经理一起,也不是坏事,这样他研制成功后,这两人也可以模拟了。
“右靶溅射完毕,调到左靶继续溅射,步骤和刚刚都是一样的。”
张明瑞简单的说了一句就开始专心计时了。
大概过了十分钟之久,芯片完成了溅射,薄膜逐渐形成,已经肉眼可见。
“吴大哥,你过来帮我把芯片挪走,我现在要关闭一起。”
张明瑞招呼着吴经理,手一台一落,调节着频率,动作干脆利落。
“关闭仪器也很重要,从上至下,依次关闭,流量计,闸板阀,分子泵要打到关闭,大概需要十分钟。”
“当冷却时间足够时,才能依次关闭分子泵电源和电磁闸,最后一步才是总电源。”
“关闭仪器的时候,一定要小心谨慎,不能一步出错,否则很容易引起机械故障发生爆炸。”
张明瑞语重心长的说道,似乎又想起了什么往事。
搞科研的危险性,和随时面临着牺牲的精神,大概是很多人所抗拒的,这也是为什么在这个年代,搞科研的人越来越少的原因。
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