第571章 漂亮的操作

得到答案后,张明瑞看了一眼容器里面的硅晶体,果断的拔掉了机器电线。

“滋滋滋……”

机器发出了刺耳的声音,气体被收了回去,组装好的零件,也各自散开!

气体渐渐消失,容器内变的清晰可见,不似刚刚那般模糊了。

张明瑞松了一口气,还好赶上了。

“啊!咋回事啊!咋滴了!”

吴经理因刚才太过靠近,而被这滋滋声吓了一跳,还以为要爆炸了。

“这个低压化学气相淀积系统是有时间限制的,也就是说,时间长了,这个薄膜会变厚,时间短了,薄膜不达标。”

“根据理论测试,这个时间就被定义在了二十一分钟以内,刚刚白大哥说大概二十一分钟了,我这不着急吗,就赶紧拔电源了。”

张明瑞解释着,暗自庆幸,开始找仪器,观察测量薄膜上的厚度。

“原来是这样啊!要不是你醒来的及时,我们俩就帮倒忙了啊!”

吴经理挠着后脑勺,有些不好意思,他俩的自作主张,差一点就把这件事搞砸了!好不容易努力到现在,要是真搞砸了,恐怕他俩得哭死。

“还不错,时间拿捏的刚刚好,真是多一分太多,少一分不行啊!”

张明瑞放下仪器,露出了完美的笑容。这真的是太幸运了。

“别高兴的太早,芯片的外围总共有三次薄膜,第三次是磁控溅射。”

“通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场,和靶表面上形成的正交电磁场。”

“把二次电子束缚在靶表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。”

“原理上大概就是这样,一会儿操控的时候,你们离远一点,必要的时候给我递过来一些工具。”

“磁控溅射台操作起来,会比较危险,所以你们在旁边观看就行,保护好自己别受伤。”

张明瑞淡淡的说道,距离成功只差两步了,所以他要早点行动,提前完成进度,这个假期已经没有多长时间了。

“好!那你要小心,有什么东西需要我们拿的就吱一声。”

吴经理知道他们是爱莫能助,便将白经理拉倒一旁观看着。

张明瑞将芯片小心翼翼的转移到磁控溅射台上,拧开气阀门,将所有气体迅速放出,开腔放入基片,随即关上气阀门。